中微公司刻蚀设备获工博会CIIF大奖
先了解这件事
2026年10月13日，中微公司（688012）在第26届中国国际工业博览会上亮相国芯展，其自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体刻蚀设备斩获2026工博会CIIF大奖，并同时获得2026“国芯展”创新成果奖，成为本届工博会十大获奖企业之一。10月14日后续报道进一步介绍，该设备为基于完全自主知识产权开发的12英寸高端CCP刻蚀机，配备六个单反应台反应腔；并称截至2026年6月底，中微公司累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产，且已与华虹集团签署战略合作协议。10月16日新报道补充称，中微公司携平台化产品矩阵亮相第26届工博会首届集成电路展（国芯展），该设备同时获得上述两项奖项，公司成为本届工博会十大获奖企业之一，也是半导体设备赛道唯一获此殊荣的企业。
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报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
- 标的新闻公告中微公司亮相2026工博会国芯展，Primo UD-RIE®刻蚀设备斩获CIIF大奖
中微公司携平台化产品矩阵亮相第26届工博会首届集成电路展（国芯展），其自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备同时获得2026工博会CIIF大奖与2026“国芯展”创新成果奖，成为本届工博会十大获奖企业之一，也是半导体设备赛道唯一获此殊荣的企业。
- 标的新闻公告中微公司亮相工博会 自研CCP刻蚀设备PrimoUD-RIE®获CIIF大奖
中微公司自主研发的PrimoUD-RIE®电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备在第二十六届中国国际工业博览会上同时获得CIIF大奖和2026“国芯展”创新成果奖。该设备为基于完全自主知识产权开发的12英寸高端CCP刻蚀机，配备六个单反应台反应腔。截至2026年6月底，中微公司累计已有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产，并与华虹集团签署战略合作协议。
- 标的新闻公告中微公司（688012）亮相2026工博会国芯展，Primo UD-RIE®刻蚀设备斩获CIIF大奖
中微公司（688012）在第26届中国国际工业博览会上凭借自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体刻蚀设备斩获2026工博会CIIF大奖，并同时获得2026“国芯展”创新成果奖，成为本届工博会十大获奖企业之一。
本事件热度走势
当前热度 9·可比范围峰值 10（10月13日 12:00）·近 24 小时可比范围变化 +100%
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