2026湾芯展观察：中微公司将设备能力铺向更多芯片场景

中微公司在2026湾芯展展示覆盖Micro LED外延、深硅刻蚀、逻辑与存储芯片金属钨填充及NAND、DRAM、光学、功率器件等刻蚀应用的设备组合。Preciomo Udx面向氮化镓基Micro LED的MOCVD外延，兼容6英寸和8英寸晶圆；Preforma Uniflex CW为12英寸CVD金属钨设备，可配置多达五个双反应台反应腔。